Formfactor EPS150T探针台介绍
一、仪器照片
二、根基信息
品牌：Formfactor
型号：EPS150T
仪器类型：高精度自动化探针台
利用领域：宽泛合用于半导体器件、微电子元件、新资料的电学机能测试，涵盖晶圆级测试、芯片失效分析、传感器机能验证、MEMS器件表征等场景，适配研发尝试室、半导体造作工厂及第三方检测机构的测试需要。
三、重要特点
1. 载物台机能优异：主题Chuck Stage载物台选取高精度传动与关环伺服节造，X/Y轴155mm×155mm大行程设计，可轻松承载≤150mm晶圆等大尺寸样品，无需频仍调整即可完玉成区域测试，两全测试广杜纂效能；建设真空吸附职能，能牢固固定各类样品，保险测试过程中样品无位移。
2. 测试适配性强：支持4~8个独立探针臂选配，可适配直流、射频、高温等分歧类型探针，能实现多通路并行测试，满足电压、电流、电阻等多种电学参数丈量需要。
3. 操作便捷高效：兼容专用自动化测试软件，可实现样品加载、定位、测试及数据纪录的全流程自动化，同时支持电动驱动与手动微调，搭配高倍率光学观察系统，辅助精准对位，降低操作难度。
4. 环境适应性好：可选配温控？椤⒎莱痉勒癖砜羌岸栊云灞；げ，能适配凹凸温极端环境测试及敏感样品测试，保险测试环境不变性与数据靠得住性。
四、技术参数
1. 载物台参数：X/Y轴最大行程155mm×155mm；定位精度±1μm；沉复定位精度≤0.5μm；台面平面度≤5μm/100mm。
2. 其他关键参数：探针臂数量可配4~8个；移动速度调节领域0.1mm/s~50mm/s；可选温控领域-60℃~200℃。
