场发射扫描电子显微镜仪器介绍
一、仪器照片
品牌与型号：日本电子（JEOL）JSM-IT800。
仪器类型：台式场发射扫描电子显微镜。
利用领域：宽泛利用于纳米资料、化学、半导体、生物等领域，可用于样品的高分辨率成像、元素分析等。
二、重要特点
电子枪技术：选取浸没式肖特基Plus场发射电子枪，集成了浸没式肖特基发射体和低像差聚光镜，实现了高束流亮度，即便在低加快电压（如5kV）下也能提供充足的探针电流（100nA），可用于高分辨率观察、高速元素mapping、EBSD分析和软X射线分析等。
电子光学节造系统：建设“Neo Engine”新一代电子光学节造系统，在调整各类显微镜参数时能实现不变观察，且加强了自动职能，使用越发便捷。
物镜？椋禾峁┒嘀治锞蛋姹，包费解合型物镜（HL）、超等混合物镜（SHL/SHLs）和半浸没式物镜（i/is），以满足分歧用户的需要，可实现从通例观察到高分辨率分析等多种职能。
探测器系统：可建设新型闪动体背散射电子探测器（SBED）和多职能背散射电子探测器（VBED）。SBED能以高响应性获取图像，在低加快电压下也能产生清澈的资料衬度；VBED则可援手获取3D、描摹和资料衬度的图像。
软件系统：集成了无缝GUI系统“SEM Center”，并标配JEOL的X射线能量色散谱仪（EDS），可实现从观察到元素分析的数据陆续采集，提高工作效能。
三、技术参数
二次电子图像分辨率：0.5nm（15kV），0.7nm（1kV）。
放大倍数：10×～2,000,000×。
加快电压：0.01kV～30kV。
背散射电子图像分辨率：4.0nm@30kV（低真空模式）。
